小屋創作

日誌2018-10-19 10:26

東京計裝 流量控制器 控制系統開發

作者:貓貓風 ฅ●ω●ฅ

.


















流量控制器(mass flow controller) 簡稱 MFC是一種用於測量和控制液體和氣體流量的裝置。

設計和校準質量流量控制器以控制特定類型的液體或氣體在特定的流速範圍內

MFC可以控制0到100%的設定值,但通常以控制量的10%到90%運行,其中達到最佳精度

設備將控制流量到達給定的設定值。 MFC分為 類比控制 與 數位控制



此篇使用的MFC可以藉由指令來任意切換控制的模式

數位控制通常是標準 RS485 、RS422 或 RS232 控制

類比控制為典型的 電壓(0~5V / 1~5V) 或電流( 4 mA ~ 20 mA) 控制

以下測試為使用 數位通訊模式 RS485 來進行通訊的結果

通訊方式為標準的序列通訊 Modbus RTU

詳細的通訊實作可以參考這兩篇

Modbus RTU Transmit

Modbus RTU CRC 計算

以下來簡單說明通訊的格式 (都使用讀取/寫入 單一暫存器指令 進行測試)

Read Register

Request Format

Slave  ID
  
Function
  
Register  Address
  
Request  data Byte
  
CRC
  
Station
  
03/04
  
Addr  hi
  
Addr  lo
  
Data  hi
  
Data  lo
  
Crc  hi
  
Crc  lo
  

Reply Format

Slave  ID
  
Function
  
Data  byte
  
Data
  
CRC
  
Station
  
echo
  
Request data Byte*2
  
Reference Request
data Byte
  
hi
  
lo
  

(備註: 詢問的長度為WORD 因此REPLY時會是詢問封包長度的兩倍

Write Register

Request Format

Slave  ID
  
Function
  
Register  Address
  
Write  data
  
CRC
  
Station
  
06
  
Addr  hi
  
Addr  lo
  
Data  hi
  
Data  lo
  
Crc  hi
  
Crc  lo
  

Reply Format

Echo Request  Command



以下針對東京計裝比較特別的地方進行說明

1.在控制閥開度為正整數外加小數點兩位
   EX: 例如MFC可控制最大流量為 50LPM,開閥30LPM
   寫入暫存器的數值應為 閥開度30 * 1000 = 3000
   意思為開閥 30.00

2. 在改變控制模式前需要先解鎖,依照DataSheet上面寫為 0001



其他部分應該就比較沒有什麼特別的地方

最後放上測試結果,存取的暫存器對應datasheet各位址

讀取站別  -> 站別為 1



2. 讀取控制模式 -> 控制模式為 RS485



3. 將閥開度設定為 30 LPM



4. 讀取當前閥開度設定值



5. 讀取當前流量 -> 流量為 13 LPM



6. 設定模式為 RS485 -> 由於未寫入允許設定密碼,因此失敗



7. 寫入開啟密碼 0001



8. 再次改變模式為 RS485 ->  顯示成功



9.  再次讀取當前流量  -> 當前流量為 7 LPM


13

5

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